Генераторы чистых газов позволяют получать такие газы, как водород, азот, кислород и нулевой воздух непрерывно «по требованию», устраняя необходимость работы с газовыми баллонами. Эти приборы не требуют серьезного обслуживания и способны существенно повысить производительность Вашей лаборатории.
Установки производства азота (N2), кислорода (O2) и водорода (H2) применяются в различных отраслях промышленности, в том числе многочисленных процессах производства изделий микроэлектроники и производства полупроводниковых материалов и приборов на их основе.
Такие установки позволяют полностью заменить баллоны высокого давления, а также обладают рядом существенных преимуществ:
- получение газов с гарантированной степенью чистоты
- одноразовая установка и бесперебойная работа
- безопасность работы, система автоматического отключения
- контролирование давления и расхода газа
- низкая себестоимость и низкие эксплуатационные затраты
Области применения:
- Микроэлектроника и полупроводники (установки эпитаксиального роста, установки корпусирования, групповая термическая обработка пластин, лазерная резка и маркировка, плазменное травление и осаждение)
- Металлургия
- Машиностроение
- Химическая промышленность
- Пищевая промышленность
- Целлюлозно-бумажная промышленность
- Приборостроение
- Ракетная техника и воздухоплавание
- Научные исследования
Азот
Азот преимущественно используется в качестве защитной атмосферы и среды с низкой электро- и теплопроводностью в металлургии, машиностроении, химической и пищевой промышленности и при перекачке топлива. Хладагент в жидком состоянии. Также ОСЧ азот необходим для процессов эпитаксиального роста, групповой обработки пластин в диффузионных печах, в установках корпусирования, установках плазменного травления и осаждения и других процессов микроэлектроники и производства полупроводников.
Генераторы азота — питают хроматографы чистым азотом. Азот может также применяться как газ-носитель в испарителях.
Кислород
Пирометаллургия и газопламенная обработка металлов, получение искусственного топлива, масел, кислот и многих других химических продуктов. Окислитель в реактивных двигателях. Компонент дыхательных смесей в авиации, космонавтике, подводном флоте и медицине. Хладагент в жидком состоянии.
Водород
Получение особо чистых металлов и очистка поверхности металлов от окислов, органический синтез, топливо в ракетной технике, производства аммиака, кислот, метилового спирта, синтетического бензина, воздухоплавание. ОСЧ водород необходим для установок эпитаксиального роста и других процессах микроэлектроники и производства полупроводников.
Генераторы водорода — питают детекторы хроматографов водородом. Имеют 4-ступенчатую систему очистки газов. Дают возможность если не полностью отказаться, то значительно сократить использование баллонных газов для питания хроматографического оборудования. Существенно повышают чувствительность приборов.
Синтетический (нулевой, чистый) воздух
Газовая смесь, повторяющая состав атмосферного воздуха в части пропорций азота (80%) и кислорода (20%) с одним важным отличием: посторонние примеси в синтетическом воздухе исчисляются долями ppm (млн-1).
Компрессоры воздуха — питают детекторы хроматографов чистым воздухом. Позволяют существенно повысить чувствительность оборудования и, как следствие, точность результатов анализов.
Лабораторные генераторы чистых газов применяются при работе с газовыми или жидкостными хроматографами, а также используются в различных лабораториях для решения широкого круга задач. Промышленные генераторы применяются в оптической, химической и электронной промышленностях, в ювелирном производстве и производстве кристаллов.
